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特种有数气体(含氟)气体

三氟碘甲烷

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产品详情

三氟碘甲烷,又称三氟甲基碘,分子式为CF3I,分子量为195.91。三氟碘甲烷为无色无味气体,无毒、阻燃、油溶性和质料相容性好,是古板氟利昂制冷剂的替换品之一,具有灭火效率高,清静性能好,经济效益高等特点。三氟碘甲烷作为半导体刻蚀气体,与同种刻蚀气体CF4、C4F6相比,蚀刻时具有更高的选择性和高深宽比。

 

产品指标

项目Items

单位Units

指标Index

纯度Purity≥

Vol. %

99.9

(氧+氩) 0xygen+ Argon (<02+Ar) ≤

Vol. ppm

300

一氧化碳Carbon monoxide (CO) ≤

Vol. ppm

200

氮气Nitrogen (N2)≤

Vo1. ppm

200

二氧化碳Carbon dioxide (C02)≤

Vol. ppm

200

六氟乙烷Hexafluoroethane (C2F6)≤

Vo1. ppm

50

八氟丙烷Octafluopropane (C3F8)≤

Vol. ppm

50



产品用途:

三氟碘甲烷可用作半导体刻蚀气体、电气装备绝缘与灭弧气体、灭火剂、制冷剂等。别的,三氟碘甲烷还能与有机金属试剂作用,是有机合成中引入氟代甲基的主要含氟中心体,可普遍应用于有机合成、生物化学、农药、医药、外貌活性剂和染料等领域。        

包装、贮存:

三氟碘甲烷充装在钢质无缝气瓶中,钢瓶容积划分为10L、47L、400 L,详细包装规格可凭证用户需求定制更改。三氟碘甲烷贮存干阴凉、干燥、透风优异的库房,远离火种、热源?馕虏灰肆杓30℃,储区应备有走漏应急处置惩罚装备。

 


厂房情形

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