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产品详情
六氟化钼（MoF6），相对分子量为209.93，熔点为17.5℃，沸点为35℃，低温下为白色块状结晶，对湿空气敏感。在强氧化剂保存下，六氟化钼能侵蚀许多金属（金、铂除外），使金属外貌变为蓝色。六氟化钼可用于钼的同位素疏散，在电子工业中用作化学气相淀积硅化钼或钼，以制作低电阻、高熔点的互连线和栅极。
产品指标
氮气Nitrogen (N2)≤ | Vol.ppm | 50 | 1 | 0.5 |
(氧+氩) Oxygen+ Argon. (O2+Ar)≤ | Vol.ppm | 50 | 0.5 | 0.5 |
二氧化碳Carbon dioxide (CO2) ≤ | Vol.ppm | - | 0.5 | 0.5 |
一氧化碳Carbon monoxide (CO)≤ | Vol.ppm | - | 0.5 | 0.5 |
六氟化硫Sulfur hexafluoride (SF6) ≤ | Vol,ppm | 10 | 0.5 | 0.5 |
四氟化硅Silicon tetrafluoride (SiF4) ≤ | Vol.ppm | 10 | 0.5 | 0.5 |
氟化氢Hydrogen fluoride (HF) s | Vol.ppm | 800 | 1 | 1 |
产品用途：
六氟化钼的主要应用领域是在微电子工业中用化学气相沉积硅化钼或钼，以制作低电阻、高熔点的互连线，也可用作强氟化剂、成膜质料及离子掺杂剂，还可用于钼同位素疏散。
包装、贮存：
六氟化钼充装在钢质无缝气瓶中，钢瓶容积划分为8L和47L，详细包装规格可凭证用户需求定制更改。六氟化钼贮存干阴凉、干燥、透风优异的库房中，远离火种、热源。储区应备有走漏应急处置惩罚装备。
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